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第214章 光学小组的争论(1/2)

    夜晚,申城微电子,EUV专家组,廖锡昌看着手中的实验报告,这已经是不知道第多少次极紫外光击打液态锡的测试了,通过验证的3个数学模型,每种都进行了上千次的测试,目前都没有获得最终的成功。

    中科院那边验证的两个模型中,有一个可以跑到最后,但最终的输出功率却达不到要求。

    梁圆走进廖老办公室,把大灯打开,“老师,只开台灯对视力影响不好。”

    完走到饮水机,给廖老倒了杯水,接着又从抽屉里拿出一瓶药,“医生都了,您不能这样每都熬下去了,今的降压药又忘吃了。”

    廖锡昌放下资料,“圆来了啊,没事,最近稳定许多,少一关系不大,一晃马上就要进入中旬了,你去看看柴文政他们,从拿到模型后到现在都没休息过。”

    梁圆没听廖老的,走到身前,把药放在面前的桌子上,一副不吃她就不离开的架势。

    见廖老吃完药后,她才道:

    “刚从实验室过来,劝不听,自从拿到模型后,柴组长跟丁冉教授分了两个组,不分昼夜的实验,始终没得到想要的效果,老师,您不会是简易模型的问题。”

    “这不好,实验室那边的各种参数都达到了EUV光刻机的环境,但是光能的吸收力度远超我们的想象,你看这份报告,最终可用的光能才12,距离最低要求25还差一倍以上。”

    梁圆安慰道,“从理论验证完成到实际落地实验,这个过程从来都是漫长的,我们的速度已经很快了。”

    “我当然知道这点,只是10月份晶圆厂就要揭幕了,没有一台EUV镇厂,影响太大了,国际形象受损,国外的那些搞技术的也会笑话我们,这还是在有资料的情况下,否则我无法想象要如何才能完成EUV的研发。”

    廖老低沉的声音回荡在安静的办公室里,梁圆看着心里也非常难受,只能不断安慰,“前两路还在打电话跟我,让您注意身体,不用急,也别去管外面怎么,10月出不来也没关系,现在已经很好了。”

    听到自己学生的消息,廖老神色变得有精神了些,“路最近做了几件漂亮的大事啊,我这个老师都替他骄傲,学生在外面冲锋陷阵,老师当然要给他争口气,放心吧,我垮不了。”

    完又拿起手中的资料,在桌上详细查看了起来。

    光学系统实验室,组二十几号人还在调试,这些都是从相关研究所过来的精英,有几人还是23所过来的同事。

    一名戴着厚厚眼镜的男人道,“柴教授,前脉冲肯定是没问题的,我们组观察过上百次,几乎是没有起伏的。”

    柴文政眼眶凹陷,这几个月足足瘦了20多斤,沙哑着嗓子,“单次脉冲没什么问题,击打也能保证同步,最有可能出问题的还是匀速,每次击打的间隔时间仍然有误差。”

    站他旁边的是一名老教授,年纪比柴文政还大,来自清大紫光的专家,“老柴,有了模型的加持,你刚才的误差是在可承受范围之内,我反而认为是第三块与第四块镜片的问题,每次到第五块光能就降到了20%以下,吸收占比太大了。”

    “这已经是更换的第三批镜片了,而且这些镜片都是通过校验的。”

    “丁教授那边提议直接组装实验,我们这个实验室空间还是太大了。”眼镜男人道。

    “实验室里的环境完全是真空状态,无尘级别也达到了最高要求,这边得不到验证,就算装起来,也不可能成功,空间应该不影响。”

    老教授道,“不一定,虽然从各项参数来看,里面的环境达标,但那只是我们现在的检测设备给出的结果,会否有未知原因导致光能被吸收呢?”

    这样的争论从拿到数学模型开始实验到现在,每都在发生,但这半个多月的收获却一点也不。

    至少他们从上百个模型中,找到了最适合的三个,上千次实验中也获得了不少的经验。

    次日一大早,路阳见到廖老时,心中充满了愧疚,上次在张老办公室就一直要过来的这边,结果都被各种事情打断。

    “或许我是怕见到廖老,怕给他压力,又或者我心中也在期望着组这边能顶着这种压力做出成果,路阳,你变了!”心中各种情绪不断翻动。

    脸上一直挂着微笑,添油加醋的给廖老着最近的事情,他知道廖老爱听,特别是在国外发生的事,廖老问得最多。

    办公室内已经很久没有廖老洪亮的笑声了,梁圆还未到办公室,就听到了笑声,脸上表情一喜。

    “哎呦,这不是路总吗?今有时间过来看我们了?”

    路阳不好意思的道,“圆姐,实在抱歉,最近……”

    “他现在是一家几万人企业的董事长,能做到这步已经很厉害了,我们都该为路感到骄傲。”

    廖老越是替他话,路阳越是内疚,鼻子有些发酸,赶紧岔开话题,“对了,圆姐,柴教授跟丁教授那边怎么样了?”

    “上个月拿到数学模型,最近都在加班加点的实验,听昨两人又
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