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第73章 纳米光刻机(一)(2/2)

造,唯一短板就是这方面了。

    前世做视频时,路阳便了解到华卓工件是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司,打破了阿斯麦尔的垄断,但现在是2018年底,很多技术现在的华卓并未掌握。

    朱易教授今年45岁,清大教授,与廖老自然是熟识的,见到两人,赶紧起身迎接。

    “廖老,路总,很荣幸能参加这次的项目研发,苏硅的这台设备,工件台方面的技术对我们启发不,有些专利如果应用到双工件台,90纳米精度应该可以稳定了。”

    系统出品的技术,连ASmL都不一定比得过。

    “朱教授辛苦了,你有兴趣的话可以跟路这边谈技术授权,不过现在最优先的还是尽快让设备运行起来,这样我们才能开展下步的工作。”

    也许是路阳那边并没出什么结果,廖老希望这边能加快速度,毕竟又不需要他们保证误差。

    “放心,最慢3,最快2应该能出结果!”

    严格起来,廖锡昌算是朱易的老师,朱易在清大也曾经听过廖老的课。

    “那就好,华卓一直是清大的骄傲,可别拖后腿啦!”
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