米家、V家、o家华国手机巨头,使用的芯片几乎都是来自台鸡电或三星代工生产的,而设计方面全是米国高通的ARm架构设计的手机芯片,只有华微海思在设计方面拥有达芬奇架构自研技术。
从光刻机的发展路径来看,共经历了5次大的迭代,依次是g线,i线,KrF,ArF,EUV一共5代,其中浸没式技术ArFi为4.5代。
第1,2代的技术已经是非常老旧了,对应波长分别是436与365纳米,属于微米级别的制程,光源主要是汞灯。
从第3代开始进入纳米制程,KrF使用的是氟化氪准分子激光,波长进入248纳米,可以实现350,180纳米的芯片制程。
第4代ArF,使用的是氟化氩准分子激光,波长进入193纳米,对应的制程是65纳米,而浸没式技术的发明,在单次曝光上可以做到28纳米的芯片制程。
第5代EUV,使用的是等离子光源,波长达到了13.5纳米,对应制程达到14纳米以下,EUV的发明,极限制程打破1纳米是迟早的事,不过当制程达到2纳米后,会发生电子隧穿效应,如果不能解决这个问题,1,2纳米的芯片是无法量产的。
目前能够提供EUV光源的只有米国cymer与岛国的Gigaphoton,而华国的光源厂目前还处在第4代ArF,用于干刻。
申城微电子现在使用的光源是华虹提供的,针对浸没式技术还在攻关郑
华芯联合长春光机所、大连光源联合开发的EUV光源为dpp-EUV,也就是放电泵浦极紫外光源,功率为12,勉强达到要求,ASmL使用的Lpp-EUV为激光泵浦极紫外光源,功率为250,这中间的差距估计有3-5代技术。
因为极紫外光极易被吸收,所以dpp-EUV需要通过放大器实现总功率达20K的光能才能使用,承担这个任务的就是由华芯,大连光源,长春光机所联合成立的华芯光学完成,目前正在大连光源全力攻克。
柴文政与丁冉对光源部分做了一番分析总结后都觉得悬。
“大连光源已经是国内最先进的激光制造商了,如果他们都不能完成的话,也找不到谁来替代了。”柴文政道,上次开会那边已经确认可以稳定提供20K的稳定功率,现在正在全力攻克25K,吸收后能直接使用的功率为50。
丁冉问道:“现在还不能做镜面反射试验,吸收率还无法估算,为什么不直接使用激光泵浦极紫外光源,这样稳妥些。”
“你以为他们不想吗?第一是没有那个技术,第二是专利侵权,只要国外那两家厂商知道我们要买激光泵浦极紫外光源,也就知道我们在造EUV了,现在还不是时候。”
就在柴文政与丁冉商讨试验的的同时,大连光源,25K放电泵浦极紫外光源试验正在做第三轮改进试验。
周宇正紧张的盯着显示屏的实时数据,这已经是第三轮修正了,25K光源始终不能稳定输出。
“周宇,我感觉这次有机会了,凡事不可再三嘛。”一旁的纪益玲安慰道,这个月他们几乎没回过家,带着团队一直在实验室做优化。
“但愿吧!”周宇淡淡道,自从两个月前加入组后,他已不再傲气,专家组都是来自各单位的顶级专家,连23所那样的传机构都派人参与了,虽然他俩在其中年纪最,但不能成为短板。
纪益玲继续道:“听这次结束后,上面有意让我们进入华芯光学,负责后续的开发。”
“嗯,我也听了,华芯科技、长春光机所还有我们共同成立新的公司,负责光源、镜片、光学系统方面,我们自然是老本行,哎,EUV光刻机还有多久制造出来未知,但专项组的成员估计都会被安排到各相关公司完成后续。”
周宇对于加入华芯倒是不反对,这两个月已经了解了很多,只要能研制出EUV光刻机,他们注定载入史册。
“周宇快看,功率到达25K了,只要能维持1分钟我们就算成功了。”纪益玲惊呼道,虽然相同的事已经发生多次了,但每次看着显示屏上的数字跳动,她都会无比紧张与激动。
周宇双手紧紧抓住桌子的边缘,双目一动不动,盯着计时器。
“45,46,48……”纪益玲开始报数,声音有些颤抖。
“一定要坚持住啊!”周宇心中也开始跟着倒数,“55,56……”
实验室的所有人都变得紧张起来,纪益玲报数的声音逐渐变大。
“58,59,60,哪,我们成功了!”纪益玲再也抑制不住自己的眼泪,看向旁边的周宇,他们成功了,没给大连光源丢人。
周宇声音颤抖,但仍在极力维持冷静,“还在继续,看看最后的极限能维持多久!”
实验室的众人已