太激进了,可能性太低。”
路阳也并非当初的那个技术白,明白90纳米的dUV光刻机通过三次曝光实现7纳米制程只存在于理论上,哪怕海思实力再强,都不一定能设计出来,而且就算真的做出来,成本太过高昂,良品率估计也好不在哪里去。
既然华微这边有了这种觉悟,路阳也不再藏着。
“何总,三次曝光确实机会渺茫,不过如果我们先把精度提高到45纳米或者28纳米,7纳米的精密制程就不再是难题了。”
路阳没等几人询问,继续道:“现在我们在镜片工艺上有了突破,只需要解决镜头组装,工件台与控制系统问题就行,这方面华微这边有没机会?”
无论是何洪年还是刘永锐,对光刻机的原理都不陌生,最关键的部分解决,软件方面他们经验都相当丰富。
何洪年也算是逐渐熟悉路阳的话风格了,并未怀疑。
“这个方案确实把握性更大,镜头组装方面与控制系统海思这边一定能攻克,华微的工程师有一定的经验。”
路阳暗下决心,搞了。
“不过,我有一个要求!”