这边，是独立保密的。”

    实验机是专家组提出用来做镜片反射实验的设备，可以是光刻机的简化版，完整组装成型机耗时太长，且拆卸成本太大，于是专家组才提出了这个方案。

    要知道激光束击打液态锡是需要在真空无尘环境下的，哪怕是简化版，整个设备的设计与组装耗时都不会太短。

    “廖老，现在镜片技术已经上来，我们的90纳米dUV光刻机是否能提升精度？”

    廖老道：“没那么简单，还需要有对应的光学系统，dUV使用的是镜头组，而EUV是镜片反射组，原理并不一样。资料上的光学系统是针对EUV的，需要转换成dUV的系统，现在专家组没这个精力。”

    路阳思索片刻，把华微海思考察的事情告诉了廖老。

    “嗯，如果是他们的话，也许可以！不过你可能会暴露部分，这样吧，如果海思真有这个想法，到时我可以抽时间过去次，这次轮到我来扛旗了。”

    路阳想起白学礼上次的表情，不由好笑，老一辈的科学家对研究的态度从来都是实事求是的，换成某些教授，巴不得扛大旗。