。”
“45纳米?”
“我跟廖老研究过这事,光刻机的精度其实一直受限的是镜头与光源系统,现在我们在镜片工艺上已经突破了,那45甚至28的镜头组只是组装的问题,剩下的就只是控制台的事了。”
路阳确实在构思要不要把版本直接推到28纳米精度的dUV光刻机,理论上来,现在是可以实现的。
EUV光刻机在镜片、光源、控制系统等方面,都远超dUV光刻机,这就是技术带来的跨越,现在缺乏的只是经验而已,不过这些所有的前提都得等到光机所那边的新加工线成果出来。
“那就是我们的10台光机生产线,要准备90,45,28纳米的dUV光刻机,然后剩下的分给EUV光刻机。”老周分析道。
“嗯,大概就是这个意思,如果明年确实要做出口的话,90还是重头,45跟28优先国内。”
“哈哈,每次跟你子喝酒都有好消息,我明白了!”
路阳忽然想起一件事:“周哥,下个月华微的事,上面打算如何应对?”
周怀义低头继续吃东西,半响才道:“实话,我也不清楚,不过我相信无论如何应对,都是选择有利的一面,这中间涉及的问题不是我们可以看清的。”
是啊,如果是以前的路阳,一个字,就是莽,但现在的他更能理解利弊决策,直到我们处于世界顶赌那才可以毫无顾忌的行事吧!