光刻机再次启动,相同的流程,涂布、曝光、显影、电镀,时间缓缓流逝,奇怪的是路阳心中却不再紧张,他有种莫名的直觉,念念不忘,必有回想。
工程师拿出刻满芯片的晶圆放到检测台上,就像开车需要磨合一样,也许光刻机也需要磨合呢,众人再次对结果期待起来。
半时过后,工程师直接奔向专家组所在的房间,这次是用跑的。
“前100片芯片良品率,85%!”
轰!所有人如被雷击中般,呆立当场,只有工程师急促的呼吸声。
一个专家颤颤巍巍的声音响起:“我没听错?85%,你再次!”
“苏硅半导体45纳米座舱芯片,前100片流片良品率85%!”
哗!不知是谁起的头,所有人掌声响起,掌声雷动,看向路阳,无论他是施了什么魔法,这良品率注定刻入华国芯片制造史。
“路总,你这是如何做到的?”廖锡昌问道,他替所有人把心中所想问了出来。
路阳自不会隐瞒,之前他也没百分百把握,系统给的“轻微震荡波动”提示,让他想起曾经制作的一则视频,光刻机的选址必须远离地震多发带,哪怕是于2.5级,人感觉不到的地震都不校
“最近厂区都在赶工,硅片车间距离这里不远,可能会有共振影响。”
众人恍然大悟,廖锡昌接着道:“不错,路总有着做科研的直觉,只是这样一来,确实麻烦了,两边不能同时开启的话。”
“防微振设计是哪家做的?”路阳回头问宗仕刚,问题应该出自于此。
宗仕刚却显尴尬,看向廖锡昌,好嘛,原来是申城微电子做的。
“可能是由于改造的原因,验收的时候,数据也是合格的。”
廖锡昌明白过来,“数据合格并不表示没有共振,看来我们的工程师还是不够细心,回头我一定让那边做深刻的检讨。”
“整改往往比新建更耗时,还望廖总这边给出方案,彻底解决这个问题,时间才是我们最宝贵的东西。”
路阳话一向直接,不会给谁面子。
于是专家们又有了新的方向,不解决共振问题,结果便不再完美,直挠心扉,做科研的最怕这个。
好在最后的1500片检测结果出来,最终良品率82%,淡化镣沉的气氛。
周怀义跟宗仕刚还是做了次简单的庆功宴,把专家都请了过去。
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这种场合一向是周怀义坐镇,路阳更喜欢跟抛光液调制的工程师们待一起。
“常生哥,我们现在12英寸硅片的技术究竟卡在什么地方?”
路阳问道,生产线这边建好都快半个月了,测试一直失败。
荣常生虽然没管这块,但对整个流程还是非常清楚的,
“硅棒提拉经验,跟调制配方一样,这东西也玄学得很,需要大量的经验,沪硅的人还在时,成功率还可以,他们走后效果一直起不来。”
“大概多少比例?”
荣常生摇摇头,叹了口气,“15%不到。”
路阳皱眉,“这成功率太低了。”
他原以为有了教程,这些应该都能解决,没想到卡在了经验条上,等等,路阳忽然灵机一动。
经验条,那不可以通过打怪解决吗?
“是不是他们练得太少?”
“对啊,拉坏聊材料需要重新熔炼,成本就会整体上升,很多人都有心理压力。”
果然如此,特么的,不杀怪哪来的经验值,不就是钱嘛。
次日,苏硅半导体组织生产线的工程师开会,提出了不计成本开练的思路。
老周那边刚搞了100亿过来,现在又签了那么多单子,不把钱花出去,便不可能产生价值。
开完组会,路阳不顾宗仕刚劝阻,大手一挥,把原来5条生产线扩建到30条,让怪刷得更快些,如果这样还不能解决问题,那就直接换人。
申城微电子的工程师们也在廖锡昌的重压下,花了半个月才解决问题,改建后的芯片车间良品率提高到了88%,IGbt与mcU芯片更是做到了恐怖的97%,刷新了华国的记录。
12英寸硅片生产线在路阳不计成本的刷怪模式与系统提示下,硅棒的成功率提到了85%。
至此,华芯在半导体硅片的布局算是初步完成,原料端核心产品8英寸、12英寸硅片完全实现国产自研,产品端有汽车三大芯片,IGbt,mcU以及45纳米座舱芯片。
组三饶总结会上,路阳道,“现在制约我们的只有产能问题了,30条生产线理论上全年产能可以做到1.5亿片,但现在全面投产的只有5条,12英寸的硅片产量在3000